Вакуумметр (вакуум жана ...метр) сейректелген газ басымын (105-10-12 Па) өлчөөчү прибор. Бардык тармактагы төмөнкү басымды өлчөөчү универсалдуу вакуумметр болбойт. Вакуумметр түзүлүшү жана иштөө принциби боюнча суюктуктуу, механикалык, жылуулук, электрондук иондоштургуч, магниттүү электр разряддуу, илээшкектүү, радиометрдик болуп бөлүнөт.

Суюктуктуу вакуумметр

түзөтүү

Суюктуктуу (гидростатикалык) вакуумметрде суюктугу (сымап же буу серпилгичтиги төмөн май) бар түтүк (столб) басым өзгөрткүч болуп эсептелип, газ басымын жана белгилүү басымды теңдейт. Мындай вакуумметрдин кемчилдиги суюктук буусу вакуум системасына кирип кетет, ошондой эле басым өлчөө диапазону аз.

Механикалык вакуумметр

түзөтүү

Механикалык вакуумметрде газ басымын сезгич (серпилгич) элемент (сильфон, мембрана жана башка) сезет же кабыл алатынча механикалык вакуумметрдин сезгичтигин жогорулатуу үчүн серпилгич элемент экинчи өзгөрткүч (көлөмдүк, индукциялык жана башка) менен туташтырылат.

Жылуулук вакуумметр

түзөтүү

Жылуулук вакуумметринде басым астында сейректелген газдардын жылуулук өткөргүчтүгү пайдаланылатынча Электр тогу менен ысытылган өткөргүч басым өзгөрткүчүнүн сезгич элементи болуп кызмат кылат.

Электрондук иондоштургуч вакуумметр

түзөтүү

Электрондук иондоштургуч вакуумметрде ысытылган катоддон чыккан электрондор анодду көздөй тез жылат жана газ молекулаларын иондоштурат; пайда болгон иондор коллектор чынжырында басымга пропорциялуу ток пайда кылат.

Магниттүү элект разряддуу вакуумметр

түзөтүү

Магниттүү элект разряддуу вакуумметрде басым электр жана магнит талаалары чогуу таасир эткен учурда өтө сейректелген газда пайда болуучу электр разрядынын тогу боюнча аныкталат.

Илээшкектүү вакуумметр

түзөтүү

Илээшкектүү вакуумметрде сейректелген газдын басымдын таасиринен болгон ички сүрүлүүгө көз карандылыгы пайдаланылат. Басым ченелүүчү газдуу идиштеги эркин кыймылдагы нерсенин (вибратор) токтоо мөөнөтү же декремент басым ченеми болуп эсептелет.

Радиометрдик вакуумметр

түзөтүү

Радиометрдик вакуумметрде сейректелген газдуу ар кандай температуралуу чөйрөгө салынган эки пластинанын түртүлүшүнө радиометрдик натыйжага негизделген. Пластиналардын түртүлүшү газ басымына пропорциялуу болот. Негизинен вакуумметр басымды башка физикалык чоңдукка (сигналга) өзгөрткүчтөн (датчиктен) жана бул сигналды өлчөп, жыйынтыгын шкала түрүндөгү эсептегич түзүлүшкө берүүчү өлчөөчү блоктон турат.

Колдонулган адабияттар

түзөтүү