Микроинтерферометр — мех. иштетүүдөн кийин нерсенин бетиндеги багытталган издердин тегиз эместигин, плёнканьш калыңдыгын жанa кичине жылуунун чоңдуктарын ченөөгө арналган прибор.

Микроинтерферометрди бирин­чи жолу сов. физик В. П. Линник түзгөн (1933). Микроинтерферометрдин оптикалык схемасында интерферометр жанa микро­скоп пайдаланылган, мунун өзү эле изилденүүчү бетти жанa эки когеренттүү жарык толкундарынын өз ара аракеттенүүлөрүнөн келип чыккан интерференциялык сүрөттү бир убакытта байкоого мүмкүндүк берет.

Интер­ференциялык сүрөттү монохром жарыгы менен Караганда алмашылып жайгашкан бир нече кара жанa ак тилке түрүндө көрүнөт да, анын чоңойтулган формасы текшерилип жаткан бетке окшош келет. Микроинтерферометр менен 0,03- тон 1 мкмте чейинки бийиктик ченелет.

Колдонулган адабияттар

түзөтүү

Кыргыз Совет Энциклопедиясы. Башкы редактор Б. О. Орузбаева. -Бишкек: Кыргыз Совет Энциклопедиясынын башкы редакциясы, 1979. Том 4. Лактация - Пиррол. -656 б.